1. 投資人決定來區投資後，如係預訂公有土地或建築物者，應即向管理處或分處繳存建築物地預約金。
2. 投資人繳存預約金後，應於2週內向管理處或分處提出投資申請，申請書格式由管理處提供，並依環保法令之規定申請各項許可文件及同意函。
3. 管理處每月召開投資審查會1次，審查當月投資申請案件。如投資案經審查不准，原繳之預約金即無息發還，投資人得憑原繳款收據聯來處領回。如投資案經審查核准，原繳之預約金全數退還。若未於管理處或分處通知核配出租土地或租購廠房之日起30日內完成簽約手續，則所繳預約金解繳國庫，不得請求返還。

4. 租地自建建築物：
(1) 接獲核准通知書後，應於1個月內，前來管理處或分處辦理租地核配並簽訂土地租約，並自簽約日起計算租金。
(2) 區內事業於簽訂土地租約後，應於3個月內向所在區管理處或分處，依建築法規定申請建築許可，發給建造執照，並申請動工興建。
(3) 區內事業自建建築物，應為多層以上建築，俾經濟利用區內土地。
(4) 區內事業自建建築物，其建廠率及容積率依相關建築法規辦理。